傳統(tǒng)的接觸式光刻機，向來只有一個硅片載物臺，掩模版的對準與壓合全憑手穩(wěn)，“差一絲，廢一片”的說法，正是這種精密操作殘酷性的真實寫照。

  江夏前期設(shè)計的時候，可沒有翁師傅這種“鬼手”大師來個毛遂自薦。

  為了突破接觸式光刻的精度瓶頸，江夏在設(shè)計時，搞了個雙平臺騷操作！

  一個是硅片載物臺，用于承載和固定涂有光刻膠的硅片。專門馱著涂了光刻膠的硅片。要求賊變態(tài)，得能在X、Y、Z三個方向玩納米級漂移還得保證絕對水平！

  為了滿足，鏡面仙人可是費了不少的功夫在這上面，差點把頭發(fā)都磨禿咯。

  想要達到效果，原本江夏還準備在平臺四角安裝上四個螺旋測微頭，這樣操作員可以像調(diào)整機床夾具一樣，通過旋轉(zhuǎn)這四個微調(diào)旋鈕，對掩模版進行微米級的平面度矯正和微小角度補償，以對抗其自身形變或安裝誤差。

  精度不夠，手動來湊！

  另一個是掩模版載物臺，用于承載和固定光掩模板。這個可就厲害了，它可以在X、Y、θ方向進行精密微調(diào)，并且具備Z向的精密升降和壓力控制功能！

  同樣的，為了達成這些功能，江夏設(shè)計了一個帶有精密絲杠和重型彈簧緩沖的機構(gòu)。操作員通過一個帶有游標刻度的大手輪進行粗升降，接近掩模版時，則切換到一個連接著高精度千分表的微調(diào)手輪！通過觀察千分表的指針讀數(shù)，可以極其精確地控制硅片上升的距離。

  同時，平臺下方安裝了一組經(jīng)過標定的壓力彈簧片，當硅片接觸到掩模版時，彈簧片的微小形變會通過一個杠桿放大機構(gòu)，在另一個表盤上顯示出接觸壓力的大小！

  操作員根據(jù)表盤讀數(shù)，配合千分表，手動將壓力調(diào)整到預設(shè)的安全值。下平臺內(nèi)部還預埋了熱電偶，連接到一個老式的指針式溫度表，用于監(jiān)測硅片溫度。

  最后，再加上一個高倍率雙筒顯微鏡系統(tǒng)，這樣，光刻機測雛形就出現(xiàn)了！

  厲害吧！

  這還不算完！

  小呆毛的終極夢想是——全自動光刻！

  讓倆平臺像跳雙人舞一樣，自己對準，自己壓合，徹底取代人手！

  靠啥？

  靠精密伺服電機當肌肉，光柵尺當眼睛實時反饋位置，再配上大黃分身跑的控制算法（PID啥的），閉環(huán)控制，完美！

  但是……

  嗯，是的，凡事都怕但是。

  理想豐滿，現(xiàn)實很骨感！

  小呆毛畫餅的時候就知道，這玩意兒擱現(xiàn)在，純屬做夢！

  符合要求的超精密伺服電機？沒有！

  高分辨率的光柵尺反饋系統(tǒng)？更沒有！

  讓“大黃分身”流暢跑動那套復雜的協(xié)同控制算法？呃，這個算是有吧……

  雖然在寫作701局，讀作精神病院里某個技能樹全點到編程上的“小胖墩”全力以赴下，相關(guān)程序還真寫了出來。但“大黃”跑起來卡成PPT！

  天知道對不對！

  要不是有翁師傅出現(xiàn)，現(xiàn)在科學院的研究員們可能還在死磕編碼器與驅(qū)動器組成的伺服系統(tǒng)，期待著它能實現(xiàn) “指令 - 反饋 - 修正” 的閉環(huán)控制流程。

  因為，江夏為兩個平臺達到參數(shù)要求設(shè)計的一系列補償措施，實際操作起來真的太難了！

  四個螺旋測微頭+千分表+壓力表+顯微鏡……這特么是人干的活？手抖一下，硅片報廢！精神壓力堪比拆彈！

  在兩個平板做出來的調(diào)試前期，科學院就開始組織人手嘗試著操作這個東西，一個人不行，我上兩個人可否？

  答案當然是否！

  最后得出的結(jié)論是：只有傳說中長了八個胳膊的十級工才能流暢操作。手、眼、腦、抗壓能力缺一不可！稍有不慎，滿盤皆輸！

  有十級工嗎？

  都說了是傳說中的，怎么可能有……雖然后世事業(yè)單位專業(yè)技術(shù)崗位倒是真有這么個稱呼。

  方案是不能變的。因為這套方案出自那個畫完餅就跑的家伙，雖然那家伙有些顧頭不顧尾，但大佬們審來審去，發(fā)現(xiàn)目前還真就這個比較靠譜。

  好在運道點滿的江夏居然從勞改對象里面把翁師傅扒拉了出來。

  只有他，才能把江夏這套理論上可行、操作上變態(tài)的過渡方案，玩出花來！把“可能”變成“必然”！

  ……

  看著翁師傅站在光刻機前活動手腳，有人的嘴巴又閑不住了。

  “誒，還是太急了點。該在給他培訓下調(diào)平載物臺的基本操作的……”旁邊有人擔憂。

  “涂光刻膠的手法你們給翁師傅說明了嘛？江工開始說用旋涂法，后來改成了刮涂……”另一個聲音插進來。

  立刻有人回應：“說了說了！江工不知道請誰搗鼓出了一種移液器，能保證每滴液體體積的一致性……”

  蘭英博士緊盯著翁師傅的手，耳邊是研究員們壓低的、帶著緊張和關(guān)切的絮叨。

  其實，這些操作細節(jié)和注意事項，早已反復向翁師傅交代清楚。此刻的念叨，不過是關(guān)心則亂罷了。

  這章沒有結(jié)束，請點擊下一頁繼續(xù)閱讀！

&